Glossar

Minienvironment

Lokal begrenzte Reinraumumgebung um einen Prozess-/Werkzeugbereich.

Minienvironments schaffen um Werkzeuge oder Prozessschritte eine höhere Reinheitsklasse als der umgebende Raum. Verbreitet in Halbleiter- und Medizintechnik.

Weiterführende Inhalte

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