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Zusammenfassung
Bewährtes deutschsprachiges Referenzwerk für Messtechnik – Partikel, Luftgeschwindigkeit, Druckdifferenz, Erholzeit.
Anwendungsbereich
Messverfahren, Geräte und Bewertung für Luftmessungen im Reinraum.
Bedeutung für Betreiber
Hilfreich zur Bewertung von Prüfberichten.
Bedeutung für Reinraumplanung
Hilft bei Definition fester Messpunkte und Referenzgeräte.
Bedeutung für Reinraumreinigung
Wenig direkt, aber Sichtbarkeit von Reinigungseffekten über Messungen.
Bedeutung für Monitoring
Kernquelle für Messtechnik in Betrieb.
Bedeutung für Qualifizierung und Validierung
Ergänzt ISO 14644-3.
Verwandte Regelwerke
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Quellen
- Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft · VDI · 2020 Offizieller Link · Abgerufen: 2026-07-17
- Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 3: Prüfverfahren · ISO Offizieller Link
- Reinraumtechnik – Partikelreinheit der Luft, Klassifizierung und Nachweisverfahren · VDI Offizieller Link