Reinraum Akademie
Halbleiter-Reinraum: Grundlagen & Praxis
Reinraumbetrieb in der Halbleiter- und Mikroelektronikfertigung: Partikel, AMC, ESD und Wafer-Handling praxisgerecht verstehen.
Inhaltsübersicht
- Reinraumklassen ISO 1–5 und Fab-Umgebungen
- Airborne Molecular Contamination (AMC) und dessen Kontrolle
- ESD, Wafer-Handling und Werkzeugintegration
- Unterschiede zu GMP-Reinräumen
Zielgruppe
- Fab-Operatoren und Prozessingenieure
- Instandhaltung und Technik
- Kontaminations- und Facility-Verantwortliche
Voraussetzungen
- Keine spezifischen Vorkenntnisse
Lernziele
- Kritische Kontaminationsquellen in der Fab erkennen
- AMC-Konzepte einordnen
- Verhaltens- und Handlingregeln sicher anwenden
- Unterschiede Halbleiter vs. Pharma benennen
Curriculum
Modul 1 · Fab-Grundlagen
- Reinraumklassen ISO 1–5
- Mini-Environment / FOUP
- Layout und Luftführung
Modul 2 · AMC
- Herkunft molekularer Kontamination
- Messverfahren
- Filter- und Materialstrategien
Modul 3 · ESD & Handling
- ESD-Grundlagen
- Wafer- und Maskenhandling
- Werkzeug- und Personenfluss
Modul 4 · Betrieb
- Reinigung in der Fab
- Störfälle
- KPIs und Monitoring
Methoden
Vortrag mit Fab-BeispielenVideoanalyseDiskussion
Terminanfrage
Termine, Formate und Preise stimmen wir individuell ab – als offene Schulung, Inhouse oder Webinar.