Reinraum Inside
Glossar

HEPA-Filter

Hochleistungs-Schwebstofffilter für Reinraumzuluft.

Auch bekannt als: HEPA, H13, H14

HEPA-Filter sind Schwebstofffilter der Klassen H13 und H14 nach EN 1822. Sie sind das entscheidende Bauteil für die Luftreinheit eines Reinraums und werden endständig, also nach dem letzten Kanalabschnitt, eingebaut.

Klassifizierung nach EN 1822

EN 1822 klassifiziert über den MPPS-Wirkungsgrad, also die Abscheideleistung bei der am schwersten abzuscheidenden Partikelgröße von typisch 0,1 bis 0,3 µm. H13 erreicht mindestens 99,95 % Gesamtabscheidung, H14 mindestens 99,995 %. Darüber liegen die ULPA-Klassen U15 bis U17 für Halbleiteranwendungen.

Die verbreitete Angabe „99,97 % bei 0,3 µm“ stammt aus dem US-Standard und ist nicht deckungsgleich mit der europäischen Klassifizierung.

Einbau, Prüfung und Betrieb

Nach Einbau und im Betrieb werden Filter und Einbaudichtheit über einen Lecktest nach ISO 14644-3 geprüft, klassisch mit Aerosol und Scan-Verfahren. Geprüft werden Filtermedium, Verguss, Dichtung und Rahmen; ein dichter Filter in undichter Fassung ist wirkungslos.

Betriebsgrößen sind Volumenstrom, Differenzdruck und Luftgeschwindigkeit an der Filterunterseite. Der Wechsel erfolgt nicht nach Kalender, sondern bei Erreichen des Enddruckverlusts, bei Leckage oder nach Kontaminationsereignis. Vorfilterpflege verlängert die Standzeit erheblich.

Umgang bei Reinigung und Wartung

Filterflächen dürfen nicht abgewischt oder abgesaugt werden; schon leichter mechanischer Kontakt kann das Medium beschädigen. Zu reinigen sind Rahmen, Schutzgitter und Umgebung, mit Vermeidung von Feuchtigkeitseintrag in das Medium.

Nach jedem Filterwechsel ist eine erneute Dichtheitsprüfung und – abhängig vom Risiko – eine Requalifizierung der Klassifizierung erforderlich.

Praxishinweise und typische Fehler

  • Filterunterseiten nie mit Wischmaterial berühren, auch nicht trocken.
  • Differenzdruck dokumentiert trenden, statt Wechsel nach Bauchgefühl anzusetzen.
  • Nach Wechsel Lecktest und Luftgeschwindigkeitsmessung als Freigabekriterium einplanen.

Häufige Fragen

Hält ein HEPA-Filter Viren zurück?

Viren sind meist an größere Partikel und Tröpfchen gebunden und werden dadurch effektiv abgeschieden; die MPPS-Abscheidung wirkt auch im Submikrometerbereich.

Wie lange hält ein HEPA-Filter?

Je nach Vorfilterkonzept und Belastung fünf bis zehn Jahre, maßgeblich sind Druckverlust und Dichtheit, nicht das Alter.

Ist H14 immer besser als H13?

Nicht zwingend. H14 erzeugt höheren Druckverlust und Energiebedarf; die Wahl folgt aus Zonenanforderung und Gesamtkonzept.

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Quellen

  • EN 1822-1: Schwebstofffilter (EPA, HEPA, ULPA) · CEN
  • ISO 14644-3: Prüfverfahren · ISO
  • VDI 2083 Blatt 3 · VDI
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