ISO

ISO 14644-14

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 14: Bewertung der Eignung von Ausrüstungen zur Verwendung in Reinräumen

VeröffentlichtVeröffentlicht: Zuletzt aktualisiert:

Zusammenfassung

Systematik zur Bewertung von Maschinen, Möbeln und Geräten hinsichtlich Partikel­emission.

Anwendungsbereich

Beurteilung, ob Betriebsmittel für einen bestimmten Reinraum­klassenbereich geeignet sind.

Bedeutung für Betreiber

Hilft bei Beschaffung – kein blindes Vertrauen auf Herstellerangabe „reinraumtauglich“.

Bedeutung für Reinraumplanung

Sollte bei jeder Ausschreibung zitiert werden.

Bedeutung für Reinraumreinigung

Reinigungs­tauglichkeit ist Teil der Eignungsbewertung.

Bedeutung für Monitoring

Emissionsverhalten ist Basis für Positionierung von Partikel­sensoren.

Bedeutung für Qualifizierung und Validierung

Ergebnis fließt in IQ/OQ ein.

Verwandte Regelwerke