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Zusammenfassung
Rahmen für die Bewertung chemischer Oberflächenkontamination, häufig relevant für Halbleiter- und Präzisionsfertigung.
Anwendungsbereich
Klassen für chemische Rückstände auf Oberflächen.
Bedeutung für Betreiber
Nur bei chemisch sensitiven Oberflächen relevant.
Bedeutung für Reinraumplanung
Beeinflusst Materialien und Ausgasungsverhalten von Bauprodukten und Verpackungen.
Bedeutung für Reinraumreinigung
Cleaning Validation muss chemische Rückstände über Wischtests, TOC oder Ionenchromatographie belegen.
Bedeutung für Monitoring
Ergänzt Partikel-Monitoring auf Oberflächen um chemische Analytik.
Bedeutung für Qualifizierung und Validierung
Kann Teil der Prozess- und Cleaning-Validation sein.
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Quellen
- Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 10: Klassifizierung der Oberflächensauberkeit anhand chemischer Kontamination · ISO · 2013 Offizieller Link · Abgerufen: 2026-07-17
- Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächensauberkeit anhand der Partikelkonzentration · ISO Offizieller Link
- Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 8: Klassifizierung der chemischen Kontamination der Luft · ISO Offizieller Link