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ISO 14644-10

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 10: Klassifizierung der Oberflächensauberkeit anhand chemischer Kontamination

VeröffentlichtVeröffentlicht: 2013-01-01Zuletzt aktualisiert: 2026-07-17

Zusammenfassung

Rahmen für die Bewertung chemischer Oberflächenkontamination, häufig relevant für Halbleiter- und Präzisionsfertigung.

Anwendungsbereich

Klassen für chemische Rückstände auf Oberflächen.

Bedeutung für Betreiber

Nur bei chemisch sensitiven Oberflächen relevant.

Bedeutung für Reinraumplanung

Beeinflusst Materialien und Ausgasungsverhalten von Bauprodukten und Verpackungen.

Bedeutung für Reinraumreinigung

Cleaning Validation muss chemische Rückstände über Wischtests, TOC oder Ionenchromatographie belegen.

Bedeutung für Monitoring

Ergänzt Partikel-Monitoring auf Oberflächen um chemische Analytik.

Bedeutung für Qualifizierung und Validierung

Kann Teil der Prozess- und Cleaning-Validation sein.

Passende Tools und Bereiche

Verbrauchsmaterial-Rechner Kompetenzzentrum Reinraumreinigung Hersteller-Verzeichnis Dienstleister-Verzeichnis

Weiterführende Inhalte

Redaktionell verknüpfte Fachinhalte, Normen, Tools und Anbieterkategorien. Anbieter werden nicht als Empfehlung, sondern als thematisch passende Marktübersicht ausgewiesen.