Zusammenfassung
Systematik zur Beschreibung molekularer Kontamination – relevant für Halbleiter, Photolithographie und empfindliche Wirkstoffe.
Anwendungsbereich
Klassifizierung luftgetragener chemischer Verunreinigungen (AMC – Airborne Molecular Contamination).
Bedeutung für Betreiber
Nur relevant, wenn AMC prozesskritisch ist (z. B. Lithographie, OLED, Wirkstoffe mit Wechselwirkungsrisiko).
Bedeutung für Reinraumplanung
Wirkt sich auf Filter (chemisorptive Medien), Materialauswahl und Ausgasung von Bauprodukten aus.
Bedeutung für Reinraumreinigung
Reinigungsmittel und Restrückstände können selbst AMC-Quelle sein – Wechselwirkung mit Prozessen prüfen.
Bedeutung für Monitoring
AMC-Monitoring über Sammelproben (Denuder, Impinger) oder Online-Messtechnik.
Bedeutung für Qualifizierung und Validierung
Ergänzt die Partikelklassifizierung um chemische Aspekte, falls prozessrelevant.
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Quellen
- Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 8: Klassifizierung der chemischen Kontamination der Luft · ISO · 2022 Offizieller Link · Abgerufen: 2026-07-17
- Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration · ISO Offizieller Link