Glossar

AMC

Molekulare Kontaminanten in der Luft, kritisch v. a. in der Halbleiterfertigung.

Auch bekannt als: Airborne Molecular Contamination, molekulare Kontamination

Airborne Molecular Contamination beschreibt gasförmige/molekulare Verunreinigungen (Säuren, Basen, Kondensate, Dopanden) unterhalb der Partikelgröße. Kontrolle über Chemiefilter, Materialauswahl und AMC-Monitoring.