VDI

VDI 2083 Blatt 3

Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft

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Zusammenfassung

Bewährtes deutschsprachiges Referenzwerk für Messtechnik – Partikel, Luftgeschwindigkeit, Druckdifferenz, Erholzeit.

Anwendungsbereich

Messverfahren, Geräte und Bewertung für Luftmessungen im Reinraum.

Bedeutung für Betreiber

Hilfreich zur Bewertung von Prüfberichten.

Bedeutung für Reinraumplanung

Hilft bei Definition fester Mess­punkte und Referenz­geräte.

Bedeutung für Reinraumreinigung

Wenig direkt, aber Sichtbarkeit von Reinigungs­effekten über Messungen.

Bedeutung für Monitoring

Kernquelle für Messtechnik in Betrieb.

Bedeutung für Qualifizierung und Validierung

Ergänzt ISO 14644-3.