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Zusammenfassung
Deutschsprachige Referenz zur Oberflächenreinheit, ergänzt ISO 14644-9/-10.
Anwendungsbereich
Klassen und Verfahren zur Bewertung der Oberflächensauberkeit.
Bedeutung für Betreiber
Nützlich für interne Sauberkeitsspezifikationen.
Bedeutung für Reinraumplanung
Grundlage für Material- und Bauproduktspezifikationen.
Bedeutung für Reinraumreinigung
Direkter Bezug zu Reinigungsverfahren und deren Wirksamkeit.
Bedeutung für Monitoring
Beschreibt Bewertungsverfahren.
Bedeutung für Qualifizierung und Validierung
Kann Teil der PQ sein.
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Quellen
- Reinraumtechnik – Oberflächenreinheit · VDI · 2017 Offizieller Link · Abgerufen: 2026-07-17
- Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächensauberkeit anhand der Partikelkonzentration · ISO Offizieller Link
- Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 13: Reinigung von Oberflächen zum Erreichen definierter Reinheitsklassen bezüglich Partikel und chemischer Kontamination · ISO Offizieller Link