VDI

VDI 2083 Blatt 4

Reinraumtechnik – Oberflächen­reinheit

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Zusammenfassung

Deutschsprachige Referenz zur Oberflächen­reinheit, ergänzt ISO 14644-9/-10.

Anwendungsbereich

Klassen und Verfahren zur Bewertung der Oberflächen­sauberkeit.

Bedeutung für Betreiber

Nützlich für interne Sauberkeits­spezifikationen.

Bedeutung für Reinraumplanung

Grundlage für Material- und Bau­produkt­spezifikationen.

Bedeutung für Reinraumreinigung

Direkter Bezug zu Reinigungs­verfahren und deren Wirksamkeit.

Bedeutung für Monitoring

Beschreibt Bewertungs­verfahren.

Bedeutung für Qualifizierung und Validierung

Kann Teil der PQ sein.

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