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ISO 14644-9

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächen­sauberkeit anhand der Partikel­konzentration

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Zusammenfassung

Definiert Klassen für Partikel­belegung auf Oberflächen – ergänzt Luftpartikel­klassifizierung.

Anwendungsbereich

Klassifizierung der Oberflächen­sauberkeit anhand partikulärer Kontamination.

Bedeutung für Betreiber

Wichtig, wenn Produktkontakt­flächen partikel­kritisch sind (Optik, MEMS, Implantate).

Bedeutung für Reinraumplanung

Beeinflusst Materialwahl, Oberflächengüte und Handling­konzepte.

Bedeutung für Reinraumreinigung

Reinigungs­verfahren müssen die geforderte Oberflächen­klasse tatsächlich erreichen und werden entsprechend qualifiziert.

Bedeutung für Monitoring

Oberflächen­partikel­messung via Tape-Lift, Waschverfahren oder optische Verfahren.

Bedeutung für Qualifizierung und Validierung

Teil der Prozess­qualifizierung, wenn Oberflächen­sauberkeit im URS steht.

Quellen

  • Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächen­sauberkeit anhand der Partikel­konzentration · ISO · 2012 Offizieller Link · Abgerufen: 2026-07-17
  • Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration · ISO Offizieller Link
  • Prüfung der Technischen Sauberkeit – Partikel­verunreinigung funktions­relevanter Automobil­teile · VDA Offizieller Link
  • Straßenfahrzeuge – Sauberkeit von Bauteilen und Systemen · ISO Offizieller Link