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Zusammenfassung
Definiert Klassen für Partikelbelegung auf Oberflächen – ergänzt Luftpartikelklassifizierung.
Anwendungsbereich
Klassifizierung der Oberflächensauberkeit anhand partikulärer Kontamination.
Bedeutung für Betreiber
Wichtig, wenn Produktkontaktflächen partikelkritisch sind (Optik, MEMS, Implantate).
Bedeutung für Reinraumplanung
Beeinflusst Materialwahl, Oberflächengüte und Handlingkonzepte.
Bedeutung für Reinraumreinigung
Reinigungsverfahren müssen die geforderte Oberflächenklasse tatsächlich erreichen und werden entsprechend qualifiziert.
Bedeutung für Monitoring
Oberflächenpartikelmessung via Tape-Lift, Waschverfahren oder optische Verfahren.
Bedeutung für Qualifizierung und Validierung
Teil der Prozessqualifizierung, wenn Oberflächensauberkeit im URS steht.