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ISO 14644-17

Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 17: Partikelablagerungsrate

VeröffentlichtVeröffentlicht: 2021-01-01Zuletzt aktualisiert: 2026-07-17

Zusammenfassung

Ergänzt Luft- und Oberflächenklassifizierung um die dynamische Ablagerungsrate – oft prozessnäher als Momentwerte.

Anwendungsbereich

Definition und Messung der Partikelablagerungsrate auf Oberflächen (Deposition Rate).

Bedeutung für Betreiber

Interessant für Prozesse, bei denen Zeit bis zur Verunreinigung entscheidend ist.

Bedeutung für Reinraumplanung

Wirkt sich auf Luftführung, offene Prozesszeiten und Barrieresysteme aus.

Bedeutung für Reinraumreinigung

Hilft, Reinigungsfrequenzen datenbasiert festzulegen.

Bedeutung für Monitoring

Deposition Coupons / Witness Wafer als kontinuierliches Verfahren.

Bedeutung für Qualifizierung und Validierung

Optionale Ergänzung zur Klassifizierung.

Passende Tools und Bereiche

Verbrauchsmaterial-Rechner Kompetenzzentrum Reinraumreinigung Hersteller-Verzeichnis Dienstleister-Verzeichnis

Weiterführende Inhalte

Redaktionell verknüpfte Fachinhalte, Normen, Tools und Anbieterkategorien. Anbieter werden nicht als Empfehlung, sondern als thematisch passende Marktübersicht ausgewiesen.