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Zusammenfassung
Ergänzt Luft- und Oberflächenklassifizierung um die dynamische Ablagerungsrate – oft prozessnäher als Momentwerte.
Anwendungsbereich
Definition und Messung der Partikelablagerungsrate auf Oberflächen (Deposition Rate).
Bedeutung für Betreiber
Interessant für Prozesse, bei denen Zeit bis zur Verunreinigung entscheidend ist.
Bedeutung für Reinraumplanung
Wirkt sich auf Luftführung, offene Prozesszeiten und Barrieresysteme aus.
Bedeutung für Reinraumreinigung
Hilft, Reinigungsfrequenzen datenbasiert festzulegen.
Bedeutung für Monitoring
Deposition Coupons / Witness Wafer als kontinuierliches Verfahren.
Bedeutung für Qualifizierung und Validierung
Optionale Ergänzung zur Klassifizierung.
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Quellen
- Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 17: Partikelablagerungsrate · ISO · 2021 Offizieller Link · Abgerufen: 2026-07-17
- Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 9: Klassifizierung der Oberflächensauberkeit anhand der Partikelkonzentration · ISO Offizieller Link
- Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 13: Reinigung von Oberflächen zum Erreichen definierter Reinheitsklassen bezüglich Partikel und chemischer Kontamination · ISO Offizieller Link